2月1日周一盤中數(shù)據(jù)顯示，光刻機(jī)概念報(bào)漲，華特氣體（60.68，2.93，5.074%）領(lǐng)漲，晶方科技(74.41，3.31，4.655%)、大族激光(44.12，1.26，2.94%)、芯源微(105.2，2.84，2.775%)等跟漲。

　　相關(guān)光刻機(jī)概念股有：

　　1、廣信材料：2018年公司主營(yíng)業(yè)務(wù)產(chǎn)品仍以光刻膠專用化學(xué)品為主，分為光刻膠用光引發(fā)劑和光刻膠樹脂兩大系列。

　　2、芯源微：半導(dǎo)體設(shè)備開發(fā)研制。

　　3、大族激光：2020年6月17日公司在互動(dòng)平臺(tái)稱：公司在研光刻機(jī)項(xiàng)目分辨率3-5μm，主要聚焦在分立器件、LED等領(lǐng)域的應(yīng)用，今年有望實(shí)現(xiàn)小批量銷售。

　　4、勝利精密：公司參股的科華微電子是國(guó)內(nèi)擁有并正常使用荷蘭ASML光刻機(jī)的光刻膠公司。

　　5、上海新陽(yáng)：2019年7月16日公司在互動(dòng)平臺(tái)回復(fù)稱公司有光刻膠配套的化學(xué)試劑產(chǎn)品。

　　6、寶通科技：2019年7月26日互動(dòng)平臺(tái)回復(fù)公司擁有“高粘度光刻膠無(wú)膠絲勻膠裝置”專利，以及子公司捷捷半導(dǎo)體擁有“一套光刻膠殘膠收集裝置”。

　　7、強(qiáng)力新材：永太新材料年產(chǎn)1500噸CF光刻膠項(xiàng)目已進(jìn)入了項(xiàng)目驗(yàn)收階段。

　　8、西隴科學(xué)：公司是一家專業(yè)從事微電子化學(xué)品的產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的高新技術(shù)企業(yè)，主導(dǎo)產(chǎn)品包括超凈高純?cè)噭�、光刻膠、功能性材料、鋰電池材料和基礎(chǔ)化工材料等。

　　數(shù)據(jù)僅參考，不構(gòu)成投資建議，據(jù)此操作，風(fēng)險(xiǎn)自擔(dān)。