截止2024年3月29日，個股表現(xiàn)方面，集成電路專用設備概念股中，長川科技(300604)當日報收33.60，上漲6.84%，成交量27.94萬。易天股份(300812)以上漲2.60%緊隨其后，該股當日成交量6.36萬。此外，盛美上海(688082)、眾合科技(000925)、至正股份(603991)均進入當日集成電路專用設備概念股上漲股之列。

　　市值來看，截止2024年3月29日，集成電路專用設備概念股中眾合科技、易天股份、勁拓股份、至正股份等5家市值位于不足100億之列；盛美上海、拓荊科技、長川科技、芯源微等4家市值位于100億到500億之列。

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