微導納米（688147）：3月31日消息，微導納米今年來漲幅上漲22.65%，截至收盤，該股報35.490元，漲0.17%，換手率7.64%。

　　公司開發(fā)了對技術水平和工藝要求更高的半導體薄膜沉積設備，已先后獲得國內(nèi)多家知名半導體公司的商業(yè)訂單，并在報告期內(nèi)實現(xiàn)了國產(chǎn)ALD設備在28nm集成電路制造關鍵工藝（高介電常數(shù)柵氧層材料沉積環(huán)節(jié)）中的突破。此外，公司已與多家國內(nèi)半導體廠商及驗證平臺簽署了保密協(xié)議并開展產(chǎn)品技術驗證等合作，針對國內(nèi)半導體薄膜沉積各細分應用領域研發(fā)試制新型ALD設備。

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